機(jī)器放電模式(Machine Model, MM)的ESD是指機(jī)器(例如機(jī)械手臂)本身累積了靜電，當(dāng)此機(jī)器去碰觸到IC時(shí)，該靜電便經(jīng)由IC的pin放電。此機(jī)器放電模式的工業(yè)測試標(biāo)準(zhǔn)為 EIAJ-IC-121 method20，其等效電路圖如下圖所示。
Test Standard: EIAJ-IC-121 Method 20
CLASS |
STRESSLEVELS |
M0 |
0 to<50V |
M1 |
50 to<100V |
M2 |
100 to<200V |
M3 |
200 to<400V |
M4 |
400 to<800V |
M5 |
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圖1 機(jī)器放電模式(MM)的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測試等效電路及其耐壓能力等級分類
因?yàn)榇蠖鄶?shù)機(jī)器都是用金屬制造的，其機(jī)器放電模式的等效電阻為0Ω，但其等效電容定為200pF。由于機(jī)器放電模式的等效電阻為0，故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內(nèi)會有數(shù)安培的瞬間放電電流產(chǎn)生。有關(guān)2-KVHBM與200-V MM的放電電流比較，見圖2。
圖2 人體放電模式(2-KV)與機(jī)器放電模式(200V) 放電電流的比較圖
雖然HBM的電壓2KV比MM的電壓200V來得大，但是200-V MM的放電電流卻比2-KVHBM的放電電流來得大很多，因此機(jī)器放電模式對IC的破壞力更大。在圖2.2-2中，該200-VMM的放電電流波形有上下振動(Ring)的情形，是因?yàn)闇y試機(jī)臺導(dǎo)線的雜散等效電感與電容互相耦合而引起的。
另外在國際電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(EIA/JEDEC STANDARD) 中，亦對此機(jī)器放電模式訂定測試規(guī)范(EIA/JESD22-A115-A)，詳細(xì)情形請參閱該工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
