整機(jī)裝配、裝連、調(diào)試中的靜電防護(hù)
一般人認(rèn)為,敏感器件在工業(yè)應(yīng)用中,只要在防靜電區(qū)內(nèi)穿戴一套(工作服、防靜電鞋、帽)防靜電工作衣,在防靜電區(qū)內(nèi)鋪設(shè)防靜電桌、地墊,工作時(shí)戴防靜電腕帶就起到了防靜電作用。但實(shí)際情況并不是那么簡單,防靜電技術(shù)是一門系統(tǒng)工程,任何一個(gè)環(huán)節(jié)的疏忽,就會(huì)引起敏感器件的損傷。本文通過幾個(gè)事例來說明防靜電技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中常出現(xiàn)的幾個(gè)誤區(qū)。
2誤區(qū)之一
敏感器件的隨意包裝引起的靜電損傷
器件包裝形式多種多樣,有黑色的長久性的防靜電包裝管,有噴涂一層抗靜電劑的白色透明防靜電塑料管。前一種防靜電包裝管價(jià)格昂貴,可以反復(fù)使用。而后一種防靜電包裝管價(jià)格便宜,為一次性使用品。后一種防靜電包裝管使用前未經(jīng)測量不得使用,否則會(huì)引起包裝管內(nèi)的器件失效。
白色透明防靜電塑料管是用聚氯乙烯、聚丙烯、聚乙烯為材料制成的,在塑料管上浸泡或噴涂一層HZ-1抗靜電液劑,涼干后成為防靜電包裝管。它的防靜電能力取決于抗靜電劑的涂層厚度及管子的保存環(huán)境。一般防靜電包裝管表面電阻為106Ω~109Ω。使用壽命一般為三個(gè)月至一年。隨著保存時(shí)間的延長,包裝管表面電阻會(huì)逐漸增大,成為絕緣材料,即表面電阻大于1012Ω。
大部分進(jìn)口電路均采用白色透明防靜電包裝管包裝器件。雖然包裝管標(biāo)有防靜電標(biāo)識(shí),但隨著出廠日期的延長,白色透明防靜電包裝管逐漸退化為絕緣材料。使用者并不知道包裝管的退化情況,有時(shí)繼續(xù)反復(fù)使用。實(shí)際上防靜電包裝管已失去防靜電作用。這樣,包裝管內(nèi)的器件很容易受到靜電損傷。包裝管的防靜電標(biāo)識(shí)只是起到操作中的警示作用。
如某研究所從國外買回一批CMOS電路,要求在上機(jī)前必須經(jīng)過二次篩選、老煉以及粗、細(xì)檢漏。在上述試驗(yàn)過程中出現(xiàn)了13%的電路失效,懷疑上述過程防靜電措施有紕漏。他們花了大量的人力、物力經(jīng)過詳細(xì)檢查、取證,未發(fā)現(xiàn)防靜電措施有不完善之處。
濟(jì)后不得不懷疑白色透明防靜電包裝管,截取一段防靜電包裝管進(jìn)行表面電阻測試,發(fā)現(xiàn)防靜電包裝管表面電阻已退化為1012Ω,即為絕緣材料。初步認(rèn)為:
(1)性能退化的防靜電包裝管損壞了該批CMOS電路。
(2)該批電路的防靜電能力不高。
為了證實(shí)以上結(jié)論,組織專業(yè)部門進(jìn)行了模擬試驗(yàn)。
(1)把剛測試合格的幾塊CMOS電路裝入已失效的防靜電包裝管中,并使CMOS電路在包裝管中來回晃動(dòng)幾下,再取出包裝管中的電路進(jìn)行測試,出現(xiàn)了失效的電路。經(jīng)過反復(fù)試驗(yàn),出現(xiàn)重復(fù)性;
(2)拿幾塊合格的CMOS電路進(jìn)行抗靜電能力測試。測試結(jié)果為**(0~1999)V。實(shí)測試結(jié)果,該批CMOS電路的抗靜電能力為(600~1100)V。
分析:
1)絕緣材料的防靜電原理與導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料的防靜電原理有所不同。
2)導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料上的靜電積累電荷,靠防靜電桌、地墊向地緩慢泄放(防靜電地線串有1MΩ的電阻)。
3)絕緣材料上的靜電積累電荷不能靠防靜電桌、地墊向地緩慢泄放,因?yàn)榻^緣材料上的積累電荷不能移動(dòng),只能靠靜電中和法或噴涂法中和絕緣材料上的積累電荷。
因此,把防靜電能力已退化的絕緣材料作為包裝管,將使器件容易受到靜電損傷。
結(jié)論:
1)白色透明防靜電包裝管為一次性的包裝管。濟(jì)好不要反復(fù)使用。使用時(shí)間較長的白色透明防靜電包裝管容易退化為絕緣材料。
2)白色透明防靜電包裝管在使用壽命期內(nèi),一般在使用前要經(jīng)過表面電阻測試。
3)裝入防靜電包裝管內(nèi)的器件不能晃動(dòng),在傳遞、運(yùn)輸中嚴(yán)禁管內(nèi)器件摩擦生電。
4)白色透明防靜電包裝管的防靜電標(biāo)識(shí)只能作為操作中的防靜電警示語,不能保證包裝管出廠后的防靜電能力退化情況。
5)建議采用黑色長久性的防靜電包裝管或盒子包裝敏感器件。
3誤區(qū)之二
芯片盒的隨意使用引起芯片表面鏡檢合格率下降
**集成電路的芯片一般都要進(jìn)行嚴(yán)格的芯片表面鏡檢,以剔除芯片表面缺陷和顆粒塵埃。芯片包裝盒應(yīng)該使用長久性的防靜電包裝盒,包裝盒內(nèi)有錫箔薄膜復(fù)蓋,作為芯片靜電屏蔽。實(shí)驗(yàn)證明,采用有機(jī)玻璃盒或透明塑料盒易產(chǎn)生靜電電場,特別是當(dāng)盒子被打開的一瞬間,盒、蓋的靜電電場的重新分布,可以看到微小的芯片會(huì)在盒內(nèi)豎立起來,并使靜電電場吸收空氣中的顆粒塵埃,使合格的芯片受到二次顆粒塵埃污染。即使剛剛鏡檢通過的合格芯片可能出現(xiàn)不合格,使芯片表面鏡檢合格率下降。
因此,有機(jī)玻璃盒或透明塑料芯片盒應(yīng)該禁用。噴涂一層抗靜電劑的塑料芯片盒,雖然具有防靜電功能,但噴涂抗靜電劑的防靜電盒隨保存時(shí)間的延長,環(huán)境溫度、濕度的變化,較長期的使用,壽命很難保證,不能保證不出問題。
4誤區(qū)之三
抗靜電能力低的器件如何使用
對(duì)于器件的用戶來講,抗靜電能力高的器件總比抗靜電能力低的器件受歡迎。但隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,采用了按比例縮小的設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)體積小、重量輕、功耗小、集成度高,解決器件的高性能、高可靠、低投入、高產(chǎn)出、快周轉(zhuǎn)等方面的優(yōu)勢。在制造工藝中普遍采用了淺結(jié)、薄氧化層等一系列的微細(xì)加工技術(shù),器件的抗靜電能力越來越差。
器件的抗靜電能力又因器件的設(shè)計(jì)、制造工藝而有所不同。比如,CMOS,與PMOS、NMOS器件比較,雖然抗靜電能力在同一數(shù)量級(jí),但CMOS器件比PMOS、NMOS器件的抗靜電能力略高幾百伏。
用戶提出抗靜電能力高的器件要求,在某種程度上來說,不太現(xiàn)實(shí)。弟一,抗靜電能力高的器件在設(shè)計(jì)、制造工藝中比較復(fù)雜,成本較高。弟二,抗靜電能力高的器件價(jià)格昂貴,整機(jī)成本上升。
鑒于以上情況,建議設(shè)計(jì)整機(jī)時(shí),在抗靜電能力低的敏感器件中的輸入/輸出端加一個(gè)防雷擊、防過壓、防靜電、抗干擾的一種瞬態(tài)電壓抑制電路(TVS),可有效地提高整機(jī)的抗靜電能力。瞬態(tài)電壓抑制電路在通訊、計(jì)算機(jī)、I/O端口、信號(hào)的輸入/輸出保護(hù)等其它高科技領(lǐng)域已獲得廣泛的應(yīng)用。
瞬態(tài)電壓抑制電路(TVS)是一種高效能的保護(hù)器件。當(dāng)瞬態(tài)電壓保護(hù)二極管受到反向瞬態(tài)高能量沖擊時(shí),它以1×10-12s量級(jí)的速度,將其兩極間的高阻抗變成低阻抗。吸收高達(dá)數(shù)千瓦的浪涌功率,使兩極間的電壓箝位于一個(gè)預(yù)定值,有效地保護(hù)了電子線路的敏感元件,免受各種浪涌脈沖的損傷。該器件具有響應(yīng)時(shí)間快、瞬態(tài)功率大、漏電流低、箝位電壓易控制、沒有損傷極限、體積小等優(yōu)點(diǎn),在各個(gè)領(lǐng)域已得到廣泛的應(yīng)用。
下面為瞬態(tài)電壓保護(hù)二極管在敏感器件上的應(yīng)用事例。
5誤區(qū)之四
敏感器件的接口方式
在整機(jī)電子線路設(shè)計(jì)中,敏感器件作為整機(jī)界面輸入/輸出端使用時(shí),連接器的接口形式相當(dāng)重要,用圓形或線簧連接器針座會(huì)引起敏感器件靜電損傷。圓形或線簧連接器針座的引出端易受觸摸而帶靜電,當(dāng)靜電積累達(dá)到敏感器件某一閾值時(shí),器件就會(huì)受靜電損傷。連接器的接口使用圓形或線簧連接器孔座(未有引線暴露在外面)就可以避免上述情況發(fā)生。
6誤區(qū)之五
穿防靜電工作衣必需與地保持同電位
在IC芯片生產(chǎn)中,一定要穿連體防靜電工作衣,它的目的有二條:
?。?/span>1)避免塵埃移動(dòng),影響產(chǎn)品質(zhì)量;
?。?/span>2)不易產(chǎn)生靜電積累,有效保護(hù)器件不受傷損。
眾所周知,人體帶電與身穿衣料、走路快慢、身體肥胖有關(guān)。當(dāng)兩人攜帶不同電位的電荷,相距某一距離時(shí),異性(正、負(fù))電荷就會(huì)吸引,同性電荷就會(huì)排除,如下所示。 這種吸引、排除力F與距離r2成反比,與Q1、Q2電荷量成正比。如下式所示: 這種異、同性電荷受吸引、排除力時(shí)會(huì)攜帶塵埃顆粒移動(dòng),以達(dá)到電平衡。在IC芯片制造中,穿連體防靜電工作衣弟一是屏蔽自身衣料攜帶的電荷不能向外傳遞。弟二是連體防靜電工作衣通過地墊把靜電泄放,使人體與地同電位。同電位的電荷就不會(huì)傳遞、移動(dòng)。不僅保證了凈化廠房干凈,而且保證了產(chǎn)品質(zhì)量不受二次微小塵埃顆粒污染。
比如,在IC制造業(yè)中,當(dāng)剛剛清洗完一批硅片(假如硅片上的自然氧化層為零),硅片表面形成了許多懸掛鍵,這種懸掛鍵失去了電平衡,它千方百計(jì)地吸收外界電荷塵埃顆粒,以達(dá)到電平衡。大面積拋光硅片很難清洗的原因是:
1)拋光硅片在清洗時(shí)隨時(shí)隨地會(huì)吸收化學(xué)試劑中的微小顆粒;
2)暴露在空氣中的拋光硅片,由于懸掛鍵作用,會(huì)吸收空氣中的微小塵埃顆粒。
如果每個(gè)人都穿連體防靜電工作衣,并與大地保持同電位,沒有電位差存在,空氣中就沒有塵埃顆粒移動(dòng)。拋光的硅片至少不會(huì)受空氣中的塵埃污染,確保了產(chǎn)品質(zhì)量。
在整機(jī)裝配、裝連、調(diào)試中,工作人員常常穿防靜電白大褂,與大地不可能保持同電位,存在著電位差,空氣中就有可能出現(xiàn)塵埃顆粒移動(dòng)。在整機(jī)方面這不是主要矛盾,主要矛盾是在整機(jī)裝配、裝連、調(diào)試中對(duì)敏感器件進(jìn)行靜電保護(hù)。因此,在整機(jī)裝配、裝連、調(diào)試中,必需配帶防靜電腕帶,使靜電積累通過腕帶泄放于大地,不至于因靜電損壞敏感器件。