潔凈棚又名潔凈工作棚，無(wú)塵潔凈棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較**之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.0米左右，覆蓋面積約50m²以下，支柱可加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。

無(wú)塵潔凈棚說(shuō)明

潔凈度

潔凈區(qū)域尺寸（feet）

所用FFU數(shù)目

風(fēng)量（m3/h）

換氣次數(shù)

100級(jí)

4×4×7

2

2300

FFU滿布形成層流

4×8×7

4

4600

6×8×7

6

6900

6×12×7

9

10350

6×16×7

12

13800

1000級(jí)

6×12×7

2

2300

160

6×16×7

2

2300

6×20×7

3

3450

8×8×7

2

2300

8×12×7

2

2300

10000級(jí)

6×12×7

1

1150

80

6×16×7

1

1150

6×20 ×7

2

2300

8×12×7

1

1150

8×16×7

2

2300