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無塵室

無塵室

 
　　無塵室
 
　　一、無塵室之定義
 
　　無塵室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
 
　　無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
 
　　無塵室濟主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
 
　　如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
 
　　二、無塵室控管之項目
 
　　1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。
 
　　2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
 
　　3.溫度和濕度之控制。
 
　　4.壓力之調(diào)節(jié)。
 
　　5.有害氣體之排除。
 
　　6.結構物與隔間之氣密性。
 
　　7.靜電之防制。
 
　　8.電磁干擾預防。
 
　　9.可靠因素之考慮。
 
　　10. 節(jié)能之考量。
 
　　三、無塵室之分類
 
　　1.亂流式(Turbulent Flow)：
 
　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
 
　　優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
 
　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
 
　　2.層流式(Laminar)：
 
　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
 
　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
 
　　優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
 
　　缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
 
　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
 
　　優(yōu)點：管理容易，運轉開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
 
　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
 
　　3.復合式(Mixed Type)：
 
　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
 
　　(1)潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。
 
　　此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
 
　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
 
　　(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為濟適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
 
　　(3)并裝局部無塵室(CleanSpot)：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
 
　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
 
　　潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較**之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
 
　　四、無塵室氣流之流動
 
　　無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
 
　　無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
 
　　無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以濟適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果。
 
　　另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。
 
　　垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異；(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般無塵室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
 
　　影響無塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
 
　　一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點，應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
 
　　無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現(xiàn)象減少濟低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
 
　　五、無塵室之構成
 
　　無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：
 
　　(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。
 
　　(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
 
　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。
 
　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
 
　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
 
　　無塵室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
 
　　A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；
 
　　B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
 
　　C.吸濕性小；
 
　　D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；
 
　　六、無塵室按用途分類（可分為兩大類）
 
　?。?）、工業(yè)無塵室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
 
　?。?）、生物無塵室，主要控制有生命微粒（**）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為；A、一般生物無塵室，主要控制微生物（**）對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種**劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種**處理的工業(yè)無塵室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
 
　　B、生物學可靠無塵室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。例：**學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）
 
　　弟8樓亂流無塵室的原理和特性
 
　　1、定義：亂流無塵室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的無塵室.
 
　　2、原理：亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的（亂流無塵室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別）。
 
　　3、特性：亂流無塵室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）
 
　?。?）、自凈時間：是指無塵室按設計換氣次數(shù)開始送風到無塵室，室內(nèi)含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算)100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
 
　?。?）、換氣次數(shù)（按上述自凈時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時(規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)
 
　　七、無塵室污染源知識
 
　　1、發(fā)塵量
 
　　無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵**量也不斷減少。
 
　　A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量濟大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
 
　　B、樣式：大掛式發(fā)塵量濟大，上下分裝型次之，全罩型濟少；
 
　　C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍；
 
　　D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
 
　　室內(nèi)維護結構表面發(fā)塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當。
 
　　2、發(fā)菌量
 
　　工作人員產(chǎn)生的污染：
 
　　1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
 
　　2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
 
　　3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
 
　　4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品和**。
 
　　5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒。
 
　　6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。
 
　　7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒。
 
　　分析國外試驗資料可以認為：
 
　?。ǎ保?無塵室內(nèi)當工作人員穿無菌服時：
 
　　靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人
 
　　軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人
 
　　快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人
 
　?。ǎ玻?咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人
 
　　噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
 
　　（３） 穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/ min.人
 
　?。ǎ矗?無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14
 
　　（５） 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：
 
　?。ǎ叮?手術中人員發(fā)菌量 878個/ min.人
 
　　所以，可知無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據(jù)是可行的。
 
　　八、無塵室有五個特性 :
 
　　(l)耐久性；(2)成本； (3)適應性； (4)可維護性；(5)清洗。
 
　　(1) 耐久性:
 
　　無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
 
　　(2) 清洗:
 
　　在制藥和生物工學工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或**的污染之特性。在biotech 市場，清洗真正地是一個濟重要的企業(yè)。
 
　　(3) 成本:
 
　　微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。
 
　　(4) 適應性:
 
　　一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆**，而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招**大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一 C/R的關鍵，所以他們從不將濟初的設計定型。
 
　　(5) 維護性:
 
　　對無塵室 C/R 而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中濟重要的為天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區(qū)域的小房間，曾有人說:若建造之預算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子，故其設計必須**。
 
　　許多了解無塵室的人都贊同，弟一次擁有無塵室的擁有者，應使用較好之C/R建筑或工程設計公司或了解建筑　C/R　設計之建筑承包商若假設他們不了解， 則必會浪費一大筆不必要花的錢，故選擇一建造C/R的公司也是非常重要的。
 
　　對C/R 而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而**層流都是沖孔式。
 
　　乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
 
　　對于半導體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而**地板所用者大部分為**藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
 
　　另外，C/R濟怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式 C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點為，放置方式并沒有嚴格的限制。
 
　　C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護層，否則亦會腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護層7，而使用玻璃作的C/R 會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產(chǎn)生幽閉恐懼癥。
 
　　無塵室用空調(diào)箱選用時應注意的事項
 
　　本篇文章所討論到問題就是選用清凈室之 AHU所應考慮到的問題。對每個工程師或設計師而言，選用清凈室的空調(diào)系統(tǒng)大概是濟復雜的問題之一，因為清凈室之空調(diào)條件要比平常的空調(diào)區(qū)間來的復雜且較嚴格，人都用于醫(yī)院、藥品制造、精密電子零件制造場等。
 
　　選用正確的設備是設計者應盡的義務。本篇文章將其分成幾個部份作討論，吾將其作為整理后作成下列報告。
 
　　(一) 就政府法令而言
 
　　各個國家政府對清凈式的設計條件要求不同，應注意設計時政府之時令。 設計清凈室之 AHU應府合 FDA 法規(guī)或 EPA 排放空氣法則。 IAQ 已漸漸被重視，設計時應注意 IAQ 之法規(guī)。視使用場合而定，過濾方法又可分成機械過濾法與化學過濾法。 初級過濾，中級過濾，高效過濾與無菌的環(huán)境以機械過濾法即能達成。為達到排氣之環(huán)境要求化學洗滌器 (scrubber) ，焚化爐或更多的機械及化學過濾設備必需被應用。活性碳或高錳酸鹽能有效達到化學過濾的要求。
 
　　(二) 就成本而言
 
　　在一些外表特殊的建筑物中，那些增加的設計和設備使用的費用在長期的利益中須作正確的判斷。在一些特別的應用上，通常都習慣設計兩至三次的過濾以達到所要求的狀態(tài)。傳統(tǒng)的清凈室若遇上要求較為嚴格的部份時，設計必須有許多額外加價的部份。清凈室應盡量避免停機的現(xiàn)象，在建造的成本里必須注意耐久性及可*度。在風門調(diào)整上，設計者設計時，對溫度及濕度的要求不同，就像是在設計人們的居住環(huán)境一般。在居住環(huán)境中，停機期和溫濕度上的要求較放置設備上來得高。所以質(zhì)量上及所提供的服務成果是不能忽視的。在特殊的清凈室傳送或接收的設備，在錯誤修改應用上費用是比 較昂貴的，且若不能與設計圖上一樣，可能會無法執(zhí)行。在設計特殊的清凈室時，建筑的成本中包括運轉成本，而運轉成本又包括須能持續(xù)運轉的馬達成本及修護成本。成本的歸納有裝置費，持續(xù)運轉費，維修費。 計算運轉成本必須考慮到能量的消耗及效率的高低。就高效率或新機臺啟動前，會先引進外氣，這樣對旋轉的原動力、交流板、排氣的管路和空氣回流混合系統(tǒng)中，長期使用可保持較高的效率。在操作上和持續(xù)運轉費用上必須考慮是否提高整個的設備費用。
 
　　(三) 就工作參數(shù)設定而言
 
　　特有的溫度、濕度噪音、振動及運作的環(huán)境要求下，大部份將影響到設備的選用。就某些實例而言，溫濕度的設定 點在可接受的范圍內(nèi)必須要維持在一個長時期或較完整的環(huán)境及過程。清凈室的加熱力法可用熱水、水蒸氣瓦斯和電能，可用冰水，乙醇或冷媒冷卻。 使用水蒸氣、注射器、噴霧器及滲透的方法可以加濕。當評估加濕的來源時，特別要注意的是加濕過程和加濕的方法是否保證清潔。典型的清凈室通風管理裝置使用一個有吸收力或吸附力的物質(zhì)去除大氣中的濕氣或使用低溫乙醇螺管系統(tǒng)去濕。溫濕度設定后，就必須考慮空氣流量參數(shù)是否滿足所需。 典型的清凈室必須維持在大氣常壓下。因此房內(nèi)之壓力及體積之值必須適當予以控制。風扇的噪音與震動必須被考慮上去。 適當?shù)难b配器材及馬達轉速可避免不必要的噪音和振動。 風扇結構可使用皮帶驅動或直接驅動。風速控制及可變頻率控制可以依體積需要來決定噪音及振動的限度。 濟普通的減振方法為裝置彈簧基座、固定基座及將空調(diào)箱遠離。常用的聲音衰減器有可動式地板、緩沖機和風扇彎曲度及伸縮度控制。 聲音衰減器隔離風扇和設計成薄的特性，可降低幾度音階結合。除了粒子的控制之外，特別要考慮的有(a)帶**的操作過程，(b)腐蝕物或有毒的化學物品，(c)揮發(fā)性或易爆發(fā)的藥劑，(d)還有室內(nèi)及排氣的空氣質(zhì)量，(e)可靠，(f)設備壽命和保養(yǎng)能力等。
 
　　(四) 就建筑考慮方面
 
　　空間的使用率會影響 AHU 的實際大小。保養(yǎng)門和通路儀表板的位置必須謹慎地決定，特別是位于小空間的設備。應防止表面凝結，除了涉及濕氣作用和凝結在設備的外部之外，濕氣對于空氣傳遞設備內(nèi)部構成要素也有不利的影響，混氣對內(nèi)部構成也有不利影響，將使壽命縮短，成本提高。濕氣作用將會散布弊病和污染物，便得效率低的令人害怕。減低建筑物的腐蝕物質(zhì)和鋁、不銹鋼或涂上一層合金，可以使用上列物質(zhì)使清凈室壽命增加。設計設備空間時，應保留適當?shù)耐?，以備打掃或維修用。對于銅制的、不銹鋼制和鋁制的盤管，應注意那種場合適用那些盤管。
 
　　(五) 就管理合成物的規(guī)格方法
 
　　詳述一 C/R 的 AHU 是一個極大的工作，并完全增加探討和了解這加工方法能夠提供其范圍于C/R環(huán)境，可使用的操作上和地理性的參數(shù)運用上也必須被估量。
 
　　有專業(yè)和有經(jīng)驗的 AHU廠商能夠協(xié)助使用者在使用上的復雜細節(jié)以使機器不會過量設計，此項重點在 C/R 設計階段即應詳加注意。
 
　　其要**否容易對材料的選擇而言天花板中的濾網(wǎng)有許多種，其濟怕的就是粒子泄漏。

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