ESD和污染控制問(wèn)題都被認(rèn)為是影響收益和可靠性的重要因素。盡管污染長(zhǎng)期以來(lái)被認(rèn)為是影響半導(dǎo)體、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)、航天、藥業(yè)和醫(yī)療器械行業(yè)，現(xiàn)在另外的一些行業(yè)，例如自動(dòng)化、食品，也開(kāi)始應(yīng)用污染控制。ESD控制也在應(yīng)用中午到相應(yīng)的增長(zhǎng)。事實(shí)上，今天，ESD（靜電放電）控制被認(rèn)為是減少污染的一個(gè)廣為人知的方法，產(chǎn)生了巨大的效益。
盡管ESD和污染控制行業(yè)的有很多**專家，這個(gè)領(lǐng)域還是有很多未知領(lǐng)域。因這兩門(mén)學(xué)科之間的差異會(huì)產(chǎn)生很多誤解。因?yàn)槊块T(mén)學(xué)科都有不同的規(guī)則，很多問(wèn)題看上去就會(huì)變得很復(fù)雜。事實(shí)上，ESD或污染控制上的很多問(wèn)題都可以有簡(jiǎn)單的辦法解決。以下簡(jiǎn)述一下：
1、控制潔凈室內(nèi)物體表面的電量對(duì)污染控制有很大幫助。因此，可以選擇低摩擦電壓的材料或可以接地的材料。但是，**這兩種方法是不夠的。離子風(fēng)機(jī)的使用給了更多的辦法。在對(duì)ESD敏感的材料和工序中可以使用離子風(fēng)機(jī)來(lái)降低污染。
2、在潔凈室里的靜電敏感材料和工序中，控制潔凈室中的靜電放電可以使ESD降到濟(jì)小。
3、在混合流的潔凈室中如果沒(méi)有配備風(fēng)機(jī)和壓縮空氣源，其氣流不利于離子風(fēng)機(jī)的使用。因此，在混合流的潔凈室中濟(jì)好安裝風(fēng)機(jī)和壓縮空氣離子發(fā)生器。但是，風(fēng)機(jī)和壓縮空氣離子發(fā)生器會(huì)讓污染重新分配產(chǎn)生有害影響，需要將靜電控制和污染控制綜合考慮。
4、在單向流的潔凈中，將離子發(fā)生器安裝在靠近天花或HEPA的地方能很好地發(fā)揮作用，特別是能控制表面污染。相對(duì)的，單向流潔凈室和潔凈臺(tái)中的氣流能引起隔離效應(yīng)或氣流層，隔離效應(yīng)和氣流層能影響離子發(fā)生器的放電時(shí)間性能。在離子發(fā)生器的安裝過(guò)程中必須考慮潔凈的氣流影響。
5、天花、臥式的離子風(fēng)機(jī)可能不能提供快速的放電時(shí)間。當(dāng)靜電敏感設(shè)備靠近低電壓時(shí)，只有少數(shù)離子發(fā)生器能夠有良好的ESD性能。在這種情況下，平衡ESD失效和污染失效的要求就變得不穩(wěn)定了。
6、當(dāng)用于需污染控制的區(qū)域時(shí)，所有的防靜電材料和設(shè)備都需經(jīng)過(guò)污染性能的檢測(cè)。同理，用于防靜電區(qū)域的所有的污染控制需要的材料和設(shè)備也需經(jīng)過(guò)ESD性能的檢測(cè)。
7、對(duì)于污染控制和ESD控制區(qū)域，濟(jì)好能使用連續(xù)監(jiān)控系統(tǒng)。在工作臺(tái)中，這些的使用能更好地進(jìn)行控制以濟(jì)小化工藝中的差錯(cuò)。
在這兩個(gè)方面想做改進(jìn)的話，首先要理解污染和ESE控制的基本原則并定好必須達(dá)到的要求。弟二要選擇解決污染和ESD問(wèn)題的有效的分析方法，特別在對(duì)于材料的選擇上。
