微污染控制 潔凈室潔凈程度的維持和控制，除了硬件設(shè)備配合投資外，也需要良好的軟件--

管理制度來(lái)配合，方能維持良好的潔凈度。半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果，作

業(yè)人員占約80％，如圖8-1所示。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時(shí)塵埃有顯著的增加，有人

動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見(jiàn)潔凈度劣化之原因，人是主要因素。

　　潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)管理 潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及潔凈室內(nèi)所用東西等加以

探討，并依計(jì)劃（Planning）、實(shí)施（Doing）、追蹤（Checking）、動(dòng)作（Action）之PDCA循環(huán)

步驟執(zhí)行。

（一）． 作業(yè)人員之管理 前已提及在潔凈室內(nèi)污染來(lái)源80％來(lái)自作業(yè)人員，因此若能使
作業(yè)人員依潔凈室管理辦法確實(shí)執(zhí)行管理，而所有人員也均能配合實(shí)施，則污染源的產(chǎn)生可說(shuō)已
減少大半?，F(xiàn)就進(jìn)入潔凈室的作業(yè)人員管理和注意說(shuō)明如下：

（1）進(jìn)入潔凈室之人員，必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，并要維持濟(jì)好狀態(tài)的觀(guān)念。

（2）作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室數(shù)目以維持濟(jì)小限度為原則（愈小愈好），并須依潔凈室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出潔凈室。出則相反方向進(jìn)行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室脫塵處理。